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工業(yè)固定式真空清掃機(jī)電子半導(dǎo)體粉塵處理設(shè)備CVPSINOVAC
| 產(chǎn)品型號(hào)： |
CVP |
| 品 牌： |
SINOVAC |
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| 所 在 地： |
江蘇無錫 |
| 更新日期： |
2026-04-10 |
| | 品牌：SINOVAC | | 加工定制：是 | | 型號(hào)：CVP | |
| | 林格曼黑度：0級(jí) | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
| | 處理風(fēng)量：600~10000 m3/h | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
工業(yè)固定式真空清掃機(jī)電子半導(dǎo)體粉塵處理設(shè)備CVPSINOVAC
工業(yè)固定式真空清掃機(jī)也稱為集中式真空清掃系統(tǒng)是專為電子半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的中央式粉塵治理設(shè)備，聚焦晶圓加工、芯片封裝、PCB 制造等場景產(chǎn)生的硅粉、光刻膠粉塵、焊錫微粒、樹脂碎屑等超細(xì)、易燃易爆、易帶靜電粉塵的高效收集與凈化需求。設(shè)備采用固定式中央主機(jī) + 分布式管網(wǎng)布局，通過高負(fù)壓密閉輸送、多級(jí)高精度過濾、防靜電與防爆安全設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí)連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，徹底杜絕人工清掃與普通除塵設(shè)備帶來的二次揚(yáng)塵、靜電擊穿、粉塵爆炸、潔凈度不達(dá)標(biāo)等痛點(diǎn)，全面滿足 ISO Class 5 級(jí)及以上潔凈車間、SEMI 國際半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)。
CVP固定式真空清掃機(jī)核心工作原理
設(shè)備基于負(fù)壓吸附 + 多級(jí)氣固分離技術(shù)運(yùn)行：中央真空機(jī)組（無油干式真空泵 / 多級(jí)離心風(fēng)機(jī)）產(chǎn)生 - 30kPa~-50kPa 穩(wěn)定負(fù)壓，在全封閉不銹鋼 / 防靜電管網(wǎng)內(nèi)形成高速氣流（≥20m/s）；車間內(nèi)粉塵經(jīng)分布式吸塵口、防靜電軟管與專用吸嘴被吸入管道，隨氣流輸送至主機(jī)；經(jīng)旋風(fēng)初級(jí)分離（截留 95% 大顆粒）→中效過濾→PTFE 覆膜高精度過濾→ULPA 終端過濾四級(jí)分離，逐級(jí)攔截從粗碎屑到 0.12μm 亞微米級(jí)超細(xì)粉塵；過濾后潔凈空氣經(jīng)消音排放，粉塵集中收集于密封集塵桶，可定期安全清理或物料回收；系統(tǒng)配套脈沖反吹自動(dòng)清灰，維持濾芯吸力與過濾效率穩(wěn)定。
工業(yè)固定式真空清掃機(jī)電子半導(dǎo)體粉塵處理設(shè)備CVPSINOVAC
